真空計(jì)按測量性質(zhì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。所謂真空計(jì)就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計(jì),例如U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)就是真空計(jì)。通過測量與壓力有關(guān)的物理量并與真空計(jì)比較來確定壓力的真空計(jì)稱為相對(duì)真空計(jì)。我們校準(zhǔn)的電離真空計(jì)、電容薄膜真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì),都是相對(duì)真空計(jì)。
電離真空計(jì)，電離規(guī)管的結(jié)構(gòu)為一個(gè)圓筒型三極管,它有三個(gè)電極:陰極F發(fā)射電子;柵極A加速電子,收集極C收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負(fù)電位。它的優(yōu)點(diǎn)主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強(qiáng); 反應(yīng)迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠(yuǎn)距離控制; 量程寬,線性好,測量精度較高。缺點(diǎn)主要是在壓強(qiáng)高于10- 1 Pa時(shí),容易氧化燈絲,一旦系統(tǒng)突然暴露大氣會(huì)燒壞規(guī)管;玻殼、電極的放氣導(dǎo)致測量的誤差。
校準(zhǔn)電離真空計(jì)時(shí),應(yīng)注意以下六點(diǎn):
(1)一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時(shí),先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。
(2)在校準(zhǔn)的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。
(3)規(guī)管安裝時(shí)應(yīng)豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時(shí)柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對(duì)位置變化,將會(huì)嚴(yán)重影響測量精度。
(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1Pa時(shí),才能開燈絲,否則真空度太低,導(dǎo)致規(guī)管陰極氧化而燒毀。
(5)在讀數(shù)之前,應(yīng)先調(diào)整好發(fā)射電流、零點(diǎn)及滿度。具體步驟是: 發(fā)射電流—零點(diǎn)—滿度—發(fā)射電流。
(6)電離真空計(jì)只需要加電預(yù)熱10分鐘就可以校準(zhǔn)了。

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